Silicon Wafer 8, 12 inch
실리콘 웨이퍼
■ 8인치 / 12인치로 구분 (Dia 크기에 따라 두께 증가)
■ Grade는 Prime Grade, Test Grade, Fallout Grade로 구분
■ SK실트론
● P(Positive) Type(Dopant Type)
- Impurity(불순물) Doping 으로 전기적 특성을 부여
· 3가 원소(B, Al, Ga) Doping으로 특성을 변화시킴
· 양공이 전하 운반자임
● 저항 (Ω) : Impurity Doping 양이 증가하면 저항이 낮아짐
● 웨이퍼의 방향성 표시 방법
- Notch
· 가장자리에 작은 V자 모양의 홈을 만드는 것.
· 200mm이상 대형 웨이퍼에서 주로 사용
- Flat
· 웨이퍼의 가장자리에 일정 길이의 평평한 부분을 만듬
· Primary Flat 과 Secondary Flat 의 각도와 길이를 통해 웨이퍼의 종류와 도핑유형 구분
● Orientation : 1-0-0
- 절단으로 결정 평면을 나타냄
- 최근에는 절단 보다는 표시로 결정 평면을 나타냄
- 이온 주입 방향을 선택
● Thermal Oxidation (산화막)
- 고온에서 Silicon Wafer 를 산화시켜 SiO2 절연막을 성장시키는 공정
- 장점 : 보호막(Surface Passivation), 불순물 제거(Surface Cleaning), 소자간 격리(Isolation)
● Grade
- Prime Grade : 제품 양산용, High Quality / High Cost
- Test Grade : 방비 유지 관리 및 엔지니어 실험 등, High Quality
- Fallout Grade : 실험이나 교육목적 등
● SK실트론
-
- Silicon Wafer , P -Type, 1-0-0 (Orientation)
Cat. No. Model Dia.
(inch)Thickness
(um)Resistivity
(ohm)Polishing
SurfaceGrade Notch
or FlatPARTICLE W04-171-801 SW8P008P 8 700-750 4~12 Single Side PRIME Notch W04-171-804 SW8P010P 8~12 Flat W04-171-807 SW8P014P 3~25 Double Side W04-171-810 SW8P500TSN 1~50 Single Side TEST Notch W04-171-813 SW8P500TSF Flat W04-171-816 SW8P500TDF Double Side W04-171-819 SW12P990F 12 750-800 1~99 Fallout Notch No COA W04-171-822 SW12P030T 755-795 1~30 TEST 120nm 1000EA W04-171-825 SW12P050T12 750-800 1~50 120nm 50EA W04-171-828 SW12P050T05 50nm 50EA W04-171-831 SW12P010P05 8~12 PRIME 50nm 30EA W04-171-834 SW12P020P05 14~27 50nm 30EA - Silicon Wafer, , P -Type, 1-0-0 (Orientation), Test Grade
● Silicon Wafer, SiO2는 주문 시, Thermal Oxidation 범위 내에서 선택해야함Cat. No. Model Dia.
(inch)Thickness
(um)Resistivity
(ohm)Polishing Surface Notch
or FlatThermal Oxidation W04-171-851 SSW8P500TND01 8 700-750 1~50ohm.cm Single Side Notch 0.1um with Dry (1,000Å) W04-171-854 SSW8P500TND02 0.2um with Dry (2,000Å) W04-171-857 SSW8P500TND03 0.3um with Dry (3,000Å) W04-171-860 SSW8P500TNW03 0.3um with Wet (3,000Å W04-171-863 SSW8P500TNW05 0.5um with Wet (5,000Å) W04-171-866 SSW8P500TNW10 1.0um with Wet (10,000Å) W04-171-869 SSW8P500TNW15 1.5um with Wet (15,000Å) W04-171-872 SSW8P500TNW20 2.0um with Wet (20,000Å) W04-171-875 SSW8P500TFD01 Flat 0.1um with Dry (1,000Å) W04-171-878 SSW8P500TFD02 0.2um with Dry (2,000Å) W04-171-881 SSW8P500TFD03 0.3um with Dry (3,000Å) W04-171-884 SSW8P500TFW03 0.3um with Wet (3,000Å W04-171-887 SSW8P500TFW05 0.5um with Wet (5,000Å) W04-171-890 SSW8P500TFW10 1.0um with Wet (10,000Å) W04-171-893 SSW8P500TFW15 1.5um with Wet (15,000Å) W04-171-896 SSW8P500TFW20 2.0um with Wet (20,000Å) W04-171-899 SSW12N1000 12 750-800 1~100ohm.cm Double Side Notch 0.1um (1,000Å) W04-171-902 SSW12N2000 0.2um (2,000Å) W04-171-905 SSW12N3000 0.3um (3,000Å) W04-171-908 SSW12N4000 0.4um (4,000Å) W04-171-911 SSW12N5000 0.5um (5,000Å)
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